掃描電鏡樣品成像時邊緣特別亮的原因
日期:2025-07-04
在掃描電鏡(SEM)成像時,如果樣品邊緣特別亮,這是一個非常常見的現象,通常由以下幾個主要原因造成:
1. 邊緣效應(Edge Effect)——二次電子增強發射
在 SEM 中使用二次電子(Secondary Electrons, SE)成像時:
邊緣、尖角、表面突起等區域,因為曲率較大或暴露面較多;
會比平坦區域發射出更多的二次電子;
這些增強的電子信號被探測器接收,就形成了“特別亮”的成像效果。
這是一種物理現象,不是圖像錯誤,而是有助于增強樣品細節對比的機制。
2. 樣品帶電效應(Charging)也可能導致邊緣亮
對于不導電或導電性差的樣品(如聚合物、陶瓷、無噴鍍處理的材料):
邊緣區域更容易積聚電荷;
導致電子束局部偏轉,產生異常電子發射;
成像時在邊緣或角落位置出現異常發亮、發白、甚至閃爍。
解決方法包括:
噴金或噴碳提高導電性;
降低電子束電流(beam current);
使用低電壓成像;
使用環境電鏡(ESEM)減少帶電。
3. 探測器位置與樣品幾何關系影響亮度
如果二次電子探測器位于樣品上方某一側;
那么傾斜或邊緣面朝向探測器的區域就會更亮;
背離探測器的一側則可能變暗。
4. 圖像對比度與增益設置過高
有時圖像信號放大設置(Gain)過高,也會把正常的邊緣增強放大得過于明顯;
可通過調整圖像對比度(Contrast)或亮度(Brightness)來緩解。
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作者:澤攸科技
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