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掃描電鏡如何使用多重圖層疊加對比不同放大圖像?

日期:2025-06-26

在掃描電鏡(SEM)中,為了對比同一區域在不同放大倍數下的圖像細節差異,可以使用圖像處理軟件實現“多重圖層疊加”對比。這種方法在分析結構演化、材料界面或缺陷局部特征時非常實用。以下是完整的操作思路:

一、采集圖像時的準備工作

確保成像區域相同

在不同放大倍數下拍攝圖像時,務必保持中心位置一致。可使用樣品臺坐標精確定位,或以標記結構為參照。

保存圖像格式一致

可使用 .tif 或 .png 格式,避免壓縮丟失細節。

標記放大倍數、圖像尺寸

命名時標注倍率如:sample_1kx.tif、sample_10kx.tif,方便后續對齊。

二、使用圖像處理軟件疊加圖層

可使用如下任一工具進行疊加操作:

ImageJ / Fiji

Photoshop

Igor Pro(借助圖像波形疊加)

GIMP、MATLAB、Python 等也可實現

三、在 ImageJ / Fiji 中操作示例

步驟 1:導入圖像

打開軟件,File → Open 依次導入不同倍率圖像。

步驟 2:對齊圖像

使用 Plugins → Registration → StackReg 或 TurboReg 插件自動對齊;

或手動調整位置和縮放,讓高倍圖像與低倍圖像對齊。

步驟 3:疊加圖層

Image → Color → Merge Channels 將不同圖像分配到 R/G/B 通道,實現色彩疊加;

或 Image → Overlay → Add Image 添加為透明圖層進行對比;

可調整圖層透明度,使細節在上下圖中切換可見。

步驟 4:設置圖層混合或遮罩

用 ROI 工具選定某一區域,在高倍圖中展示詳細結構,其他區域保持低倍圖,形成“局部高分辨疊加”效果;

可做圖層遮罩(mask)控制顯示范圍。


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作者:澤攸科技