澤攸科技的JS10B臺階儀是一款高精度、高分解能力的手動臺階儀，以其一體花崗巖結構提供穩(wěn)定可靠的重復性測量。該設備配備彩色攝像頭，能夠同時對樣品和針尖進行成像，實現無畸變的觀察樣品區(qū)，方便用戶精確定位特征區(qū)域。在探針掃描過程中，用戶可以實時觀察掃描區(qū)域，這大大提高了操作的便捷性和測量的準確性。

臺階儀可以對微納結構進行膜厚和臺階高度、表面形貌、表面波紋和表面粗糙度等的測量，在高校、研究實驗室和研究所、半導體和化合物半導體、高亮度LED、太陽能、MEMS微機電、觸摸屏、汽車、醫(yī)療設備等行業(yè)領域有著廣泛應用。

長期以來，這一領域被國外產品壟斷。而澤攸科技自主研發(fā)的JS系列高精度臺階儀，憑借突破性的關鍵技術，打破了國外壟斷，是半導體國產化進程中不可或缺的一環(huán)。 

特點

量測精確、操作便捷、體積小巧、超高性價比

應用范圍

▲ 刻蝕、沉積和薄膜等厚度測量

▲ 薄膜多晶硅等粗糙度、翹曲度等材料表面參數測量

▲ 各式薄膜等應力測量

系統(tǒng)組成

▲ 臺階儀主機

▲ 電腦及顯示器

選配品

▲ 隔振臺

▲ 高度校準標樣

技術參數

軟件界面

掃描圖

18nm樣品

68um樣品