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掃描電鏡樣品臺傾斜角度調節的作用

日期:2025-04-28

在掃描電鏡(SEM)中,調節樣品臺傾斜角度的作用主要有以下幾點:

1. 增強表面立體感和細節對比

適當傾斜樣品,可以讓電子束在表面形成更明顯的陰影效果,使紋理、顆粒、微小凹凸的細節更加清晰。

這種立體感提升,有助于觀察樣品的微觀結構特征,比如裂紋、孔洞、臺階狀形貌。

2. 改善背散射電子成像(BSE)對比

BSE 成像對元素原子序數(Z值)敏感。

樣品傾斜后,不同區域的背散射強度變化更明顯,可以提高成分對比,使材料分界更加清晰。

3. 有助于能譜分析(EDS)

進行能譜(EDS)檢測時,理想狀態是電子束與樣品表面接近垂直,探測器與樣品之間角度適中。

適當傾斜可以優化探測器的接收角,提高能譜信號采集效率,減少遮擋,提升分析準確性。

4. 便于特定斷面或內部結構觀察

如果需要觀察樣品的某個斷面、剖面,或者內部細微結構,傾斜樣品可以讓目標區域直接暴露在電子束下,更容易成像。

5. 減少充電效應(在某些情況下)

對絕緣樣品,適當傾斜可能有助于電子荷流更好地分散,略微緩解局部充電導致的成像問題。


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作者:澤攸科技